北京华林嘉业科技有限公司
蚀刻清洗台适用产业:半导体照明(LED)--PSS工艺段、外延工艺段、芯片工艺段;控制模式:手动控制模式、自动控制模式;制程应用:显影制程; 蚀刻(微蚀刻)制程;去光阻清洗制程;去蜡(胶)清洗制程;精密清洗制程;光罩去光阻清洗制程
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